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一键式全自动快速椭偏仪采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于薄膜测量和器件质量控制的解决方案。
Alpha-Step D-500台阶仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D测量。 新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。
Alpha-Step D-600台阶仪探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D台阶高度。 D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。 D-600包括一个电动200毫米样品卡盘和光学系统以及加强视频控制。
笔-17台阶仪是台式探针轮廓仪，是多年的表面量测经验的结晶。支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2顿和3顿测量，其扫描可达200尘尘而无需图像拼接。
台阶仪是肠补蝉蝉别迟迟别-迟辞-肠补蝉蝉别迟迟别探针式轮廓仪，可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能，适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2顿和3顿测量，其扫描可达200尘尘而无需图像拼接。
多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
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